- Профессиональная
- Научно-популярная
- Художественная
- Публицистика
- Детская
- Искусство
- Хобби, семья, дом
- Спорт
- Путеводители
- Блокноты, тетради, открытки
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
Серия: Нанотехнологии
В наличии
Местонахождение: Москва | Состояние экземпляра: новый |
Бумажная
версия
версия
Автор: Галперин В.А., Данилкин Е.В., Мочалов А.И.
ISBN: 978-5-9963-0032-7
Год издания: 2018
Формат книги: 60×90/16 (145×215 мм)
Количество страниц: 283
Издательство: М.: БИНОМ. Лаборатория знаний
Вид издания: Учебное пособие
Для кого: Для вузов
Цена: 410 руб.
Положить в корзину
Позиции в рубрикаторе
Отрасли знаний:Надотраслевые технологии:
Код товара: 049955
Способы доставки в город Москва * комплектация (срок до отгрузки) не более 2 рабочих дней | Возможность оплаты при получении заказа |
Самовывоз из Москвы (собственные пункты самовывоза) | Нет, только предоплата |
Самовывоз из города Москва (пункты самовывоза партнёра CDEK) | Есть, наличными и банковской картой |
Курьерская доставка CDEK из города Москва | Есть, наличными и банковской картой |
Доставка Почтой России из города Москва | Есть, наличными |
Экспресс-доставка EMS из города Москва | Нет, только предоплата |
Аннотация: В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.